熱破壞是目前廣泛使用的工業廢氣處理方法，特別是對于低濃度有機工業廢氣，有機工業廢氣的熱破壞可分為直接火焰燃燒和催化燃燒。直接火焰燃燒是有機工業廢氣在氣流中直接燃燒和輔助燃料燃燒的一種方法。在大多數情況下，有機物的濃度很低，在沒有輔助燃料的情況下可以燃燒。在適當的溫度和停留時間下，直接火焰燃燒可以達到99%的熱處理效率。

　　催化燃燒是在氣流中加熱有機工業廢氣后，在催化床的作用下加速有機物化學反應(或破壞效率)的一種方法。催化劑的存在使得有機物在熱破壞過程中比直接燃燒法需要更少的停留時間和更低的溫度。催化劑在催化燃燒系統中起著重要的作用。

　　用于有機工業廢氣凈化的催化劑主要是金屬和金屬鹽，金屬包括貴金屬和非貴金屬目前使用的金屬催化劑主要是鉑和鈀。技術成熟，催化活性高。然而，價格相對較高。在處理含氮、硫、磷等元素的鹵素有機物時，有機物容易氧化和失活催化劑。非金屬催化劑包括過渡族元素鈷、稀土等。近年來，國內外對催化劑的開發越來越多，并且越來越集中于非貴金屬催化劑，在能源提取方面取得了許多成果。例如，V2O5+MOX(M:過渡金屬)+貴金屬制成的催化劑用于處理甲硫醇工業廢氣，鉑+鈀+銅催化劑用于處理含氮有機醇工業廢氣。

　　由于有機工業廢氣中雜質的頻繁出現，很容易造成催化劑中毒。導致催化劑中毒的毒物(抑制劑主要包括磷、鉛、鉍砷、錫、汞、亞鐵離子鋅、鹵素等。催化劑載體起到節約催化劑、增加催化劑有效面積、使催化劑具有一定機械強度、減少燒結、提高催化活性和穩定性的作用。可用作載體的材料主要包括氧化鋁、釩鐵、石棉、陶土、活性炭、金屬等。最常用的陶瓷載體通常制成網狀、球形、柱狀和峰窩狀。此外，絲光沸石等近年來已經得到了越來越多的成功研究。